• Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления. Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов. Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 Нанотехнология в электронике, 210104 Микроэлектроника и твердотельная электроника, 222900 Нанотехнология и микросистемная техника, 210600 Нанотехнология, 210100 Электронное машиностроение, а также для инженеров и научных работников.

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование

  • Производитель: Интеллект ИД
  • Автор: Киреев В.Ю.
  • UPC: 2016
  • ID: 2558177
  • Доступность: На складе
  • 72.30 р.