В пособии излагаются основные принципы технологии создания гетероструктур на основе сегнетоэлектриков, обсуждаются различные методы, их достоинства и недостатки. Подробно анализируется метод высокочастотного катодного распыления для получения пленок сложных оксидов. Предназначена для научных работников, преподавателей, аспирантов, студентов физических вузов.
Физика гетероэпитаксиальных пленок. Особенности получения наноразмерных пленок сложных оксидов
- Производитель: Содействие - XXI век
- Автор: Сова Е.М.
- UPC: 2010
- ID: 2516248
- Доступность: На складе
-
23.40 р.